顕微鏡用吸着ステージ 製品情報

顕微鏡用多孔質吸着ステージ 製品詳細

多孔質な面吸着(セラミックス)により薄いサンプルを凹無く吸着が可能。 裏面吸着可能な為、吸着ステージ本体を固定することが出来ます。 表面形状測定機等のサンプル固定ステージとして最適なステージです。 標準仕様外の寸法も対応可能です。
吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するので吸着時ワークの変形がありません。
吸着部材質：SUS304（焼結金属）ラッピング仕上げ
吸着OFF	吸着ON

 

吸着ステージ標準形状

吸着部サイズ(mm)	外形寸法(mm)	質量(kg)	平面度(μm)	平行度(μm)
φ６０(両面)	※φ８０×１４	０.３４	１０	３０
φ１００(両面)	※φ１２０×１２.５	０.６２	１０	３０
□５０×５０	８０×８０×２０	０.３４	１５	３０
□１００×１００	１３０×１３０×２０	０.９５	１５	３０
□１５０×１５０	１８０×１８０×２０	１.７７	１５	３０
□２００×２００	２３０×２３０×２０	２.８８	２５	４０
□２５０×２５０	２８０×２８０×２５	５.３０	２５	４０
□３００×３００	３３０×３３０×２５	７.３５	２５	４０

※上記寸法に突起部は含まれておりません。

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※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。
※上記標準形状以外でも製作可能です。お気軽にご相談下さい。