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FPD用欠陥検査システム ARMS-T750S
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750mm×650mmの移動が可能なFPD用欠陥検査システムです。
FPD用欠陥検査システム ARMS-T750S 詳細
- 概 要
- FPD用(液晶、PDP、ELパネル)欠陥検査システムはFPDの不良欠陥を検査、計測するシステムです。
- 特 徴
- デジタルカメラに依る目視検査や計測。
- 基板サイズに応じた移動量のステージが各種対応致します。
- リニアガイドの採用により、高剛性化・高精度化を実現しています。
- 光学系はニコン、オリンパス、ツアイス、ライカ等の指定の顕微鏡が装着可能です。
- 操作はリモートボックスまたはパソコン制御が可能です。
- クリーン度クラス1000(0.3μm)に適用します。
- リニヤスケールが装着可能です。(オプション仕様)
- 透過照明による観察も可能。
- 注文形式
- 移動量 .... 基板サイズ、外形寸法、厚さ
- 使用光学系 .... ニコン、オリンパス、ツアイス、ライカ等
- 光学仕様 .... 目視観察、モニタ観察、反射／透過照明
- 計測仕様 .... 寸法(XYZ)、膜厚測定、反射／透過率測定、自動欠陥検査等
- 制御系 .... PC制御、マニュアル、電動駆動(コントローラー)
- 参考仕様
- 移動方向 .... X／Y2方向
- 移動量 .... 基板サイズに準ずる。
- ワークテーブル .... ガラス板 t=8mm
- 移動ガイド .... リニヤガイド
- 分解能 .... 0.005mm(繰返し位置決め精度)
- 駆動モータ .... 5相ステッピングモータ
- 移動速度 .... 最大 約50mm／sec
- 照明装置 .... 反射照明 透過照明(ファイバー照明)
- オプション
- 微分干渉観察
- 透過照明装置
- 画像処理装置
- 画像計測ユニット
- オートフォーカスユニット
- 自動検査システム
- エアー防振台
- その他特注品
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※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。
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