顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ 製品情報

顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ

納期:受注生産

UTAシリーズは、マスクが不要なフォトリソグラフィー用パターン投影露光装置です。金属顕微鏡とLED光源DLPプロジェクタを使用し、パソコン上で自由なパターン作成が可能な、画期的な露光ユニットです。

顕微鏡LED露光ユニット 概要

ExposureDevice01.jpg・顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズは、マスクが不要なフォトリソグラフィー用パターン投影露光装置です。

・金属顕微鏡とLED光源DLPプロジェクタを使用し、 解像度数μmの任意のパターンをレジスト塗布した基板上に投影し、露光を行います。

・パターンは、パソコン上で自由に作成できます。

・さまざまな大きさ、形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電極を形成することができるため、 電子線リソグラフィーよりも遙かに安価かつ簡便です。高価な電極パターンマスクを作製する必要もありません。(数μm程度の解像度で十分な場合)

ExposureDevice02.jpg
露光前のテスト投影(赤光の為、感光しません)
ExposureDevice03.jpg
露光時の写真(露光時間数秒)

顕微鏡LED露光ユニット 用途例

  • 薄膜FETやホール効果測定試料の電極形成
  • グラフェン・モリブデン原石から剥(薄)片を取り出し、原石の特性評価を行うための電極形成
  • 研究開発用途向けのパターン形成

顕微鏡LED露光ユニット 特徴

  • 顕微鏡とDLPの組合せのため、既存システムより安価な露光装置です
  • 使い勝手のよい専用ソフトで、かんたんにパターン作成が可能です
  • 対物レンズの倍率で微細なパターンから広範囲の一括露光が可能です
  • 所有の顕微鏡に取り付けることも可能です(条件によります)
  • 解像度数μ(数μmパターン成形)も可能です

露光ユニットUTAシリーズ使用による電極作成例画像

試料B
◎ 試料

埼玉大学大学院理工学研究科 上野研究室にご提供いただいた、電極作成例の画像です。
試料は天然の二硫化モリブデンで、Ti/Au電極を四端子作製。
試料薄片を見つけて電極を形成するまでのステップごとの画像です。

■ 写真はクリックで拡大します

パターン照射 安全光B
◎ 安全光でのパターン照射
パターン照射B
◎ パターン照射
現像後B
◎ 現像後
現像後2B
◎ 現像後
リフトオフ後x20B
◎ リフトオフ後 x20
リフトオフ後x100B
◎ リフトオフ後 x100
リフトオフ後x100 スケールバー付きB
◎ リフトオフ後 x100 スケールバー付き
リフトオフ後x100 各スケール付きB
◎ リフトオフ後 x100 各スケール付き

※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。

顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ

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