顕微鏡用多孔質吸着ステージ 製品情報

顕微鏡用多孔質吸着ステージ

お見積りやお問合せ時は「外周枠が無いタイプ」や「取付穴加工・穴寸法」など、お考えの仕様をお知らせください。

薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着、固定に最適な吸着ステージ。 上面はサンプル吸着、裏面はステージ上に吸着可能です。

顕微鏡用多孔質吸着ステージ 製品詳細

  • 多孔質な面吸着(セラミックス)により薄いサンプルを凹無く吸着が可能。
  • 裏面吸着可能な為、吸着ステージ本体を固定することが出来ます。
  • 表面形状測定機等のサンプル固定ステージとして最適なステージです。
  • 標準仕様外の寸法も対応可能です。
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吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するので吸着時ワークの変形がありません。
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吸着部材質:SUS304(焼結金属)ラッピング仕上げ
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吸着OFF
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吸着ON

 吸着ステージ標準形状

多孔質セラミックスタイプと多孔質SUS304焼結金属タイプの2種類ご用意しております。

新セラミックス製多孔質吸着ステージはリーク部分があっても吸着可能なため、いくつかのサンプルを同時に吸着固定が可能です。
両面仕様可能な外周枠が無いタイプやご指定寸法での取付穴加工など、受注生産で対応いたします。

SUS製 表面吸着タイプ 側面吸引ポート付き(標準形状)
吸着部サイズ(mm) 外形寸法(mm) 平面度(μm) 平行度(μm) 価格(税抜)
□50×50 50×50×20 15 30 125,000円
□100×100 100×100×20 15 30 165,000円
□150×150 150×150×20 15 30 250,000円
□200×200 200×200×20 25 40 350,000円
セラミックス製 両面吸着タイプ 側面吸引ポート付き(標準形状)
吸着部サイズ(mm) 外形寸法(mm) 平面度(μm) 平行度(μm) 価格(税抜)
φ 60 ※φ60×15 10 20 120,000円
φ 100 ※φ100×15 10 20 150,000円
φ 150 ※φ150×15 10 20 240,000円
φ 200 ※φ200×15 20 20 370,000円
φ 300 ※φ300×15 20 30 420,000円
□60×60 60×60×15 10 20 120,000円
□100×100 100×100×15 10 20 150,000円
□150×150 150×150×15 10 20 240,000円
□200×200 200×200×15 20 20 370,000円
□300×300 300×300×15 20 30 420,000円
※上記寸法に突起部は含まれておりません。

※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。

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