顕微鏡用多孔質吸着ステージ 製品情報
薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着、固定に最適な吸着ステージ。 上面はサンプル吸着、裏面はステージ上に吸着可能です。
顕微鏡用多孔質吸着ステージ 製品詳細
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吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するので吸着時ワークの変形がありません。 |
吸着ステージ標準形状
新セラミックス製多孔質吸着ステージは、リーク部分があっても吸着可能なため、いくつかのサンプルを同時に吸着固定が可能です。
両面使用可能な外周枠が無いタイプや、ご指定寸法での取付穴加工など、受注生産で対応いたします。
セラミックス製 両面吸着タイプ 側面吸引ポート付き(標準形状) | ||||
吸着部サイズ(mm) | 外形寸法(mm) | 平面度(μm) | 平行度(μm) | 価格(税抜) |
φ 60 | ※φ60×15 | 10 | 20 | 別途お見積り |
φ 100 | ※φ100×15 | 10 | 20 | |
φ 150 | ※φ150×15 | 10 | 20 | |
φ 200 | ※φ200×15 | 20 | 20 | |
φ 300 | ※φ300×15 | 20 | 30 | |
□60×60 | 60×60×15 | 10 | 20 | |
□100×100 | 100×100×15 | 10 | 20 | |
□150×150 | 150×150×15 | 10 | 20 | |
□200×200 | 200×200×15 | 20 | 20 | |
□300×300 | 300×300×15 | 20 | 30 | |
※上記寸法に突起部は含まれておりません。 |
※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。
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